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생산장비용 부품

생산장비용 부품

당사는 Photo,Etch,Wet station,CVD,CMP,Diffusion 및 Implanter 장비에 사용되는 핵심 부품들을 국산화 또는 OEM VENDER를 발굴하여 싼 가격에 제공하므로써 장비유지비용 최적화에 기여하고 있습니다.

공정 : Photo

NO NCTech P/N 장비 Make 2015년 장비Model 비고
1 6"SPIN CHUCK TEL KOREA TEL MK-2,5,7,8 GOOD
2 N2 BLOWING COVER TEL KOREA TEL MK2

공정:Etch

NO NCTech P/N 장비 Make 2015년 장비Model 비고
1 NOZZLE GUIDE Hitachi Tspin processor
2 NC02-0729-1 XLL W/F DETECT SENSOR PCB(R45/R47/TCP용) LAM KOREA R4728. TCP-9400
3 POWER DEVICE CARTRIDGE(G32X-A20) PSK AES-220
4 DES220 AL TUNNEL 수리 PSK AES-220

공정:Diff

NO NCTech P/N 장비 Make 2015년 장비Model 비고
1 TEL APC V/V BODY 제작 TEL α-808S
2 AST2800,2900 MERGE ENDEFFECTOR Mattson AST2800
3 CHAMBER DOOR SHAFT (481-000-11) Mattson AST2800
4 V/F 로구 SHUTTER KE NIT(All)
5 HEATER COOLING용 COVER KE (All) DJ-823V-8BL DD-823V-8BL

공정:CVD

NO NCTech P/N 장비 Make 2015년 장비Model 비고
1 (CL)WAFER GUIDE-TR UNIT ARMS (2-4F-93622) KDNS SS-W80A-AV
2 8inch SCR BLOCK (1910-328844-11) TEL SS-2/4
3 HEAT EXCHANGER WATER LINE 개선(C6-7) AMK P-5000W 자체제작
4 NC02-0202-2 CUP EDGE RING(TS8171D-H,PPS) 동성(TOK) TS8162F-D
5 ISOLATOR 0200-09129(T) AMK P-5000(TEOS) 0200-09129
6 NC02-0521-3 GAS BOX MOUNT BUSHING AMK P-5000(TEOS)
7 NC02-0426-1 FOX 2LITER BOTTLE CAP(STRAW일체형) 동성(TOK) TS8162F-D
8 (C.C)(CL) SEAL THROTTLE V / V (0020-30338) AMAT Centurn-5200

공정 WET

NO NCTech P / N 장비 Make 2015 년 장비 Model 비고
1 MECHA SHUTTER SUGAL 특주
2 SEMITOOL PUMP AIR FITTING SEMITOOL SPECTRUM168396
3 BOX CLEANER TRAY ROLLER 수리 ATCOR ULTRA - 1102
4 CHEMICAL PUMP 전장비 공용
5 CASSETTE TRAY 제작 ATCOR ULTRA - 1121
6 DEMISTER WET SCRUBER
10 NC02 - 0524 - 1 TUBE ,VENT , CORRUGATED , SS, 42L VARIAN E220HP / E500HP
20 Pad conditioner Arm Pulley & Anchor AMK Mirra