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생산장비(CMP용)

생산장비(CMP용)

SpeedFam-IPEC 사의 Auriga 장비 외 현재 반도체 CMP 주력 회사들의 Parts를 원활하게 공급 할 수 있는 능력을 갖추고 있습니다

CMP Spare Parts

1. Parts are unused and in original OEM packaging.

2. Customer Satisfaction을 추구하며, 제공되는 모든 제품에 대하여 이상 발생시 폐사의 Return Policy에 의해 100% after service를 제공합니다.

3. 폐사는 Customer Requests에 항상 귀 기울이고 있으며, 이에 Parts Repair and Exchange Program을 운용하고 있습니다

4. 반도체 부품 대부분이 외수에 의존하는 현실에 폐사는 미국의 AXUS 사와 전략적 협정관계를 유지하며, 보다 원활한 parts 수급에 힘쓰고 있습니다.

5. 폐사는 단순히 부품만을 제공할 뿐만 아니라, 다년간의 Field Service의 경험을토대로 High tech의 Engineering Service를 같이 제공하고 있습니다.

동그라미

■ NOVELLUS CONCEPT Ⅱ 장비용 ESC CHUCK
- NOVELLUS CONCEPT Ⅱ 장비용 ESC CHUCK
- Used to maintain GaAs,Silicon or memory discs substrates and control heat transfer
- Application:CVD,PVD,Etch,photolithography,Handling,etc.
- Operating temperature range: 200℃~250℃