사업개요
NEW CHALLENGE TECHNOLOGY
보유기술
Utility System
PCW System을 통해 장치 내 과열을 방지하고 온도 조절을 통한 장비 보호 및 생산 수율을 향상시켜 PCW System 비용 절감 Solution을 제공합니다.
멀티 쿨링(Multi-Cooling)시스템을 통해 장치 냉각수 시스템 중 PULLER에 일정한 온도의 냉각수를 공급함과 동시에 운전에너지 절감을 통해 냉동부하 감소 및 운전비용 절감을 실현합니다.
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1. 설계 및 사전검토
고객 요구사항 사전검토
자료 및 공정대상 조사
사전협의 최적방안 도출
전체 공정 관리계획 수립
설계작업 진행
소요물량/생산장비 Layout
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2. 시설 및 인력 조달
핵심 생산설비 조사/계약
장비 설치용 구조물 제작
투입 재료/자재/장비 조달
전문인력 확보
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3. 시공 / 설치
안전/공정/Process관리
Utility Pipe 경우배관 설치
가설공사 실시
전문인력 투입
Schedule Manager 공정관리
맞춤 제작으로 유연한 대응
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4. 시운전 / 유지관리
시설가동 Test
누락/결손 Check
생산품질 Test
사용주기 관리
시설/공정 개선
고객 승인 완료
PCW System
PCW System을 통해 장치 내 과열을 방지하고 온도 조절을 통한 장비 보호 및 생산 수율을 향상시켜 PCW System 비용 절감 Solution을 제공합니다.
멀티 쿨링(Multi-Cooling)시스템을 통해 장치 냉각수 시스템 중 PULLER에 일정한 온도의 냉각수를 공급함과 동시에 운전에너지 절감을 통해 냉동부하 감소 및 운전비용 절감을 실현합니다.
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1. 냉동기 대수 제어 적용
냉동용량을 적정 대수로 분할함으로써 초기 투자비 및 불필요하게 가동되는 냉동기 및 냉각탑의 운전비 절감(약15% 감소)
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2. 폐열 회수 시스템 적용
생산 시설에서 나오는 상온의 배기공기 (Exhaust Air)를 공조에 필요한 신선 외기와 열교환시켜 동절기 난방부하 감소 가능
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3. 지열 시스템 적용
지열 시스템을 도입해 기존의 유틸리티 장비 용량을 줄이고 연간 운전비 절감 가능
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4. 냉각탑 비산 억제 시스템 적용
냉각탑의 백연 및 비산수량을 줄이기 위해 백연 저감장치를 적용해 연간 비산향의 약 30%를 줄여 용수 사용금액 절감 가능
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5. 대온도차 냉동기 적용
대온도차 냉동기 적용으로 냉수 유량감소로 인한 초기투자비 및 운전비 절감(약30%)
각종 유틸리티 시스템
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P.VC SYSTEM
P.VC System은 생산설비에 필요한 VACUME (600~700mmAg)으로서 진공도가 저하되거나 중단되어서는 안되는 중요한 System입니다. 일정 진공도 유지 및 GAS 조건 유지로 철저한 관리를 제공합니다.
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GAS SYSTEM
반도체 제조 공정에는 다양한 종류의 GAS가 사용되며 동시에 초고순도의 정밀성이 요구되므로 전문적인 시공 및 관리능력을 요구합니다. O₂, 수분 등을 각각 1ppm이하로 제거 및 관리하여 정밀 공정 진행이 가능한 서비스를 제공합니다.
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CDA SYSTEM
생산장비에 N₂와 함께 가장 많이 사용되며, 각 생산장비의 A.A.V(AUTO AIR VALVE) 동장 및 전송 기타 공기에 이용되는 System으로 AIR에 의한 자동 관리가 가능하도록 서비스를 제공합니다.
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DI WATER SYSTEM
포토레지스트리의 융해, 애칭, 포토레지스트리의 제거, 세정 등에 주용도로 이용되는 System으로 간편한 유지관리를 통해 미생물, 입자, 유기물, Level을 낮추고 비용절감 또한 가능하도록 서비스를 제공합니다.