| 20 | SUS | NC200428-110020 | 520*280*Ø100 |  |
PM용 분리형 TRAP |
| 19 | AL | NC200428-110019 | |  |
히팅 BLOCK 열손실 방지 ZIG용 |
| 18 | AL | NC200428-110018 | Ø55 |  |
COOLING BLOCK |
| 17 | AL | NC200428-110017 | |  |
장비 연결 가공 밸브 |
| 16 | SUS | NC200428 -110016 | |  |
Other Structuring Part HOUSING_I |
| 15 | PEEK | NC200428 -110015 | 43*32*18 |  |
Ebare spin chuck 고정 bracket |
| 14 | PEEK | NC200428 -110014 | 90*78*12 |  |
Mirra spin chuck 고정 bracket |
| 13 | 흑아세탈 | NC200428 -110013 | 48*31*42 |  |
Sorce Housing를 고정하기 위한 Bushing |
| 12 | 흑아세탈 | NC200428 -110012 | 55*30*32 |  |
Sorce Head를 고정하기 위한 Bushing |
| 11 | 흑아세탈 | NC200428 -110011 | 142*539*34 |  |
Power connector |
| 10 | SUS | NC200428 -110010 | 320*250*20 |  |
tungsten 증착 공정에서 쓰이는 wafer up-do |
| 9 | SUS | NC200428 -110009 | 320*260*20 |  |
Ti/Tin 증착 공정에서 쓰이는 wafer up-down |
| 8 | SUS | NC200428 -110008 | 주문제작 |  |
FLANGE_TEL 장비 PM용 |
| 7 | SUS | NC200428 -110007 | 주문제작 |  |
Diffusion Flange UPPER FLANGE_L |
| 6 | SUS | NC200428 -110006 | Ø78*5.8T |  |
CKD HEAD 상단 BELLOWS 중앙 샤프트 탄성 CA |
| 5 | SUS | NC200428 -110005 | 320*250*75 |  |
AL 증착 공정에서 쓰이는 wafer up-down lif |
| 4 | SUS | NC200428 -110004 | 250*250*140 |  |
Wafer spin dry 작업시 Wafer 잡아주는 역활 |
| 3 | Teflon | NC200428 -110003 | Ø350 |  |
chamber와tube 사이에 들어가는 Leak 방지 Te |
| 2 | HASTELLOY | NC200428-110002 | |  |
턴테이블 PM용 |
| 1 | AL | NC200428-110001 | Ø 256.78 |  |
TURBO PUMP COVER |